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氮化鋁(AlN)陶瓷具有高熱導(dǎo)率、低介電常數(shù)、高強(qiáng)度、高硬度、無(wú)毒性、熱膨脹系數(shù)與Si相近等良好的物理性能,且具有優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性和耐腐蝕性能,采用氮化鋁作為介質(zhì)隔離材料制備的AlN多層布線共燒基板,是大功率模塊、大規(guī)模集成電路的理想散熱和封裝材料。
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