VCSEL在3D面部識別、增強現(xiàn)實、汽車艙內傳感以及自動駕駛汽車(如激光雷達)和機器視覺等方面有著廣闊的應用空間,發(fā)展迅速,也是DPC陶瓷基板的熱點應用之一。一、什么是VCSEL激光器?
VCSEL激光器是垂直腔面發(fā)射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)的簡稱,是一種以半導體為基礎的激光二極管,從其頂面垂直發(fā)射高效光束。1977年,日本東京工業(yè)大學伊賀健一(Kenichi Iga)教授為首的研究小組首次提出制造垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)的設想,并在1979 年首次實現(xiàn)了 77 K 溫度下可脈沖工作的 VCSEL 激光器。
如上圖所示,VCSEL 激光器主要由上下的分布布拉格反射鏡(Distributed Bragg Reflector,DBR)、中心的發(fā)光區(qū)結構組成形成。
與其他類型的激光器相比,VCSEL具有多種優(yōu)點,包括:1. 易于制造和集成:VCSEL的制造過程相對簡單,可以用標準半導體工藝制造,而且可以與其他電子元件集成在一起,形成高度集成化的系統(tǒng)。2. 高效率:VCSEL的電-光轉換效率高,能夠在低功率下實現(xiàn)高光輸出,比如用于光通信、光存儲等領域。3. 高速度:VCSEL的速度可以達到數(shù)千兆比特每秒(Gbps),適用于高速數(shù)據(jù)傳輸。4. 窄的光束:VCSEL的光束非常窄,能夠更好地聚焦和定位,適用于激光雷達、光通信等領域。5. 長壽命:VCSEL的壽命長,能夠在長時間內保持穩(wěn)定的輸出。6. 低成本:VCSEL的制造成本相對較低,可以大規(guī)模生產(chǎn),適用于大規(guī)模應用。VCSEL在制造成本、功率轉換效率、速度、集成度等方面都具有優(yōu)勢,因此在光通信、光存儲、激光雷達、生物醫(yī)學等領域得到了廣泛應用。根據(jù)Yole研究數(shù)據(jù),全球VCSEL市場將從2021年的12億美元增長到2026年的24億美元,期間復合年增長率為13.6%。
二、VCSEL為何要用DPC基板
DPC陶瓷基板具備了高導熱、高絕緣、高線路精準度、高表面平整度及熱膨脹系數(shù)與芯片匹配、可垂直互連等諸多特性,極大滿足了VCSEL的封裝要求,在VCSEL的應用方面具有廣泛的前景。
VCSEL的芯片轉化效率低導致其存在嚴重散熱問題,DPC基板垂直互連,形成內部獨立的導電通道,陶瓷本身既是絕緣體,又能散熱,實現(xiàn)熱電分離。VCSEL芯片功率密度很高,需要考慮芯片和基板熱膨脹失配導致的應力問題,而陶瓷基板具有與VCSEL高匹配的熱膨脹系數(shù)。此外DPC陶瓷基板可實現(xiàn)金屬邊框與陶瓷基板的一體成型,緊密結合,避免了后期組裝過程中額外的粘貼工序、配位精度等問題,以及膠水老化帶來的可靠性問題。VCSEL封裝需要把透鏡架設到芯片上方,即基板是需要做成三維腔室,DPC基板具有高可靠垂直互連的優(yōu)勢適用于垂直共晶焊接。