氧化鋁陶瓷基板是這樣制成的！你知道多少？

——  氧化鋁陶瓷基板加工制作工藝流程和成型辦法

氧化鋁陶瓷基板加工制作工藝流程和方法與普通的電路板是否一樣？氧化鋁陶瓷基板是這樣制成的！你知道多少？相信關注氧化鋁陶瓷基板的企業(yè)或者技術采購人員也是比較關注的。今天小編全面分享一下這其中的“故事”。

一，氧化鋁陶瓷基板加工工藝

目前市面上采用的氧化鋁陶瓷基板大多采用薄膜工藝、厚膜工藝，DBC工藝、HTCC工藝和LTCC工藝。

氧化鋁陶瓷基板薄膜工藝

薄膜法是微電子制造中進行金屬膜沉積的主要方法，其中直接鍍銅 (Direct plating copper)是最具代表性的。直接鍍銅（DPC），主要用蒸發(fā)、磁控濺射等面沉積工藝進行基板表面金屬化，先是在真空條件下濺射鈦，鉻然后再是銅顆粒，最后電鍍增厚，接著以普通pcb工藝完成線路制作，最后再以電鍍/化學鍍沉積方式增加線路的厚度。

DPC工藝適用于大部分陶瓷基板，金屬的結晶性能好，平整度好，線路不易脫落，且線路位置更準確，線距更小，可靠性穩(wěn)定等優(yōu)點。

氧化鋁陶瓷基板DBC工藝

陶瓷覆銅板英文簡稱DBC，是由陶瓷基材、鍵合粘接層及導電層而構成，它是指銅箔在高溫下直接鍵合到氧化鋁或氮化鋁陶瓷基片表面上的特殊工藝方法，其具有高導熱特性，高的附著強度，優(yōu)異的軟釬焊性和優(yōu)良電絕緣性能，但是無法過孔，精度差，表面粗糙，由于線寬，只能適用于間距大的地方，不能做精密的地方，并且只能成批生產無法實現小規(guī)模生產。

HTCC工藝就是采用的高溫共燒工藝，HTCC陶瓷發(fā)熱片就是高溫共燒陶瓷發(fā)熱片，是一以采用將其材料為鎢、鉬、鉬\錳等高熔點金屬發(fā)熱電阻漿料按照發(fā)熱電路設計的要求印刷于92～96%的氧化鋁流延陶瓷生坯上，4～8%的燒結助劑然后多層疊合，在1500～1600℃下高溫下共燒成一體，從而具有耐腐蝕、耐高溫、壽命長、高效節(jié)能、溫度均勻、導熱性能良好、熱補償速度快等優(yōu)點，而且不含鉛、鎘、汞、六價鉻、多溴聯苯、多溴二苯醚等有害物質，符合歐盟RoHS等環(huán)保要求。

LTCC工藝就是 低溫共燒陶瓷（Low Temperature Co-fired Ceramic LTCC）將低溫燒結陶瓷粉制成厚度精確而且致密的生瓷帶，在生瓷帶上利用激光打孔、微孔注漿、精密導體漿料印刷等工藝制出所需要的電路圖形，并將多個被動組件（如低容值電容、電阻、濾波器、阻抗轉換器、耦合器等）埋入多層陶瓷基板中，然后疊壓在一起，內外電極可分別使用銀、銅、金等金屬，在900℃下燒結，制成三維空間互不干擾的高密度電路，也可制成內置無源元件的三維電路基板，在其表面可以貼裝IC和有源器件，制成無源/有源集成的功能模塊，可進一步將電路小型化與高密度化，特別適合用于高頻通訊用組件。

二，氧化鋁陶瓷基板制作工藝流程

氧化鋁陶瓷基板生產過程重要技術環(huán)節(jié)：

（1）鉆孔：機械鉆孔孔用于在金屬層之間形成連接管。

（2）鍍通孔：在連接層之間的銅線鉆孔后，層之間的電路沒有打開。因此，必須在孔壁上形成導電層以連接線。該過程在工業(yè)上通常被稱為“PTH”。工藝流程主

要包括3個程序：Desmear，化學銅和電鍍銅。

（3）干膜壓制：制作光敏蝕刻光敏層。

（4）內蒙古層圖像轉移：使用曝光將膠片圖像轉移到電路板表面。

（5）外層曝光：光敏膠片貼附后，電路板類似于生產過程的內層，再次曝光，發(fā)展。這種攝影膠片的主要功能是確定需要電鍍的區(qū)域，不需要電鍍，我們覆蓋的區(qū)域是不需要電鍍的區(qū)域。

（6）磁控濺射：氣體輝光放電過程中產生的正離子與靶材表面原子之間的能量和動量交換用于將材料從源材料移動到基板上實現薄膜的沉積。

（7）蝕刻 - 外部線的形成：使用化學反應或物理沖擊去除材料的技術。蝕刻的功能反映在特定圖形的選擇性去除中。

（8）氧化鋁陶瓷基板電鍍  

（9）氧化鋁陶瓷基板鍍鎳方法

鍍鎳分電鍍鎳和化學鍍鎳。電鍍鎳是在由鎳鹽(稱主鹽)、導電鹽、pH緩沖劑、濕劑組成的電解液中，陽極用金屬鎳，陰極為鍍件，通以直流電，在陰極(鍍件)上沉積上一層均勻、致密的鎳鍍層。鎳在大氣和堿液中化學穩(wěn)定性好，不易變色，在溫度600°C以上時才被氧化。在硫酸和鹽酸中溶解很慢,但易溶于稀硝酸。在濃硝酸中易鈍化因而具有好的耐蝕性能。鎳鍍層硬度高、易于拋光、有較高的光反射性并可增加美觀。其缺點是具有多孔性,為克服這一缺點,可采用多層金屬鍍層，而鎳為中間層。

電路完成后，電路板將被送入剝線，蝕刻和剝線線。主要工作是完全剝離電鍍抗蝕

劑并將待蝕刻的銅暴露在蝕刻溶液中。由于布線區(qū)域的頂部已經被錫保護，因此使用堿性蝕刻溶液來蝕刻銅，但是由于布線已經被錫保護，所以可以保持布線區(qū)域的布線，使得布線區(qū)域的布線提供整體布線板。

流延法是制作氧化鋁陶瓷基板的成型方法

流延法是指在陶瓷粉料中加入溶劑、分散劑、粘結劑、增塑劑等物質，從而使?jié){料分布均勻，然后在流延機上制成不同規(guī)格陶瓷片的制造工藝，也被稱為刮刀成型法。該工藝最早出現于上世紀40年代后期，被用于生產陶瓷片層電容器，該工藝的優(yōu)點在于：

（1）設備操作簡單，生產高效，能夠進行連續(xù)操作且自動化水平較高；

（2）胚體密度及膜片彈性較大；

（3）工藝成熟；

（4）生產規(guī)格可控且范圍較廣。

氧化鋁陶瓷基板生產中的基片純度為90.0~99.5%，其純度越高，性能越好。溫度的把控是實現良品率高的重要方面和技術，更多氧化鋁陶瓷基板制作工藝流程的問題可以咨詢金瑞欣特種電路。金瑞欣是十多年經驗的國內陶瓷線路板廠家，生產氧化鋁陶瓷基板，氮化鋁陶瓷基板等。