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一文了解 IGBT 模塊封裝用陶瓷襯板技術(shù)

陶瓷襯板技術(shù)

IGBT 是電力電子變換中的核心元器件,以低電壓控制大功率電路的斷開與導(dǎo)通,廣泛應(yīng)用于軌道交通、新能源汽車、軍工航天、工業(yè)機(jī)器等領(lǐng)域。隨著我國(guó)高鐵、航空航天、混合動(dòng)力汽車的飛速發(fā)展, IGBT 模塊需要更高的可靠性、更快的開關(guān)轉(zhuǎn)換速度、更低的能量損耗等,因此,需要高可靠性的封裝技術(shù)使芯片的優(yōu)勢(shì)能夠完全發(fā)揮出來。其中,IGBT 封裝用散熱基板在封裝時(shí)起著機(jī)械互連和電氣導(dǎo)通的作用,是高可靠性封裝中至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。


EC DUAL3 IGBT模塊

IGBT 封裝對(duì)基板材料的要求如下:熱導(dǎo)率高、介電常數(shù)低、與芯片材料的熱膨脹系數(shù)相匹配、力學(xué)強(qiáng)度優(yōu)良、加工性能好、成本低、耐熱沖擊和冷熱循環(huán)等。


一、IGBT 模塊封裝用陶瓷材料種類

IGBT 模塊的典型封裝結(jié)構(gòu)如圖所示,可以看出芯片產(chǎn)生的熱量主要通過基板和散熱翅傳遞出去,因此基板所采用的材料需要導(dǎo)熱性能優(yōu)良、耐熱沖擊,同時(shí)介電常數(shù)要低,避免產(chǎn)生雜散電感,減少能源損耗。為實(shí)現(xiàn)機(jī)械固定,基板材料還需要具有一定的強(qiáng)度。由于陶瓷材料具有強(qiáng)度高、絕緣性好、導(dǎo)熱和耐熱性能優(yōu)良、熱膨脹系數(shù)小、化學(xué)穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),非常適合作為IGBT 封裝用基板材料。

 IGBT 模塊封裝典型結(jié)構(gòu)圖

市面上常見的作為 IGBT 封裝用的基板材料有 AlN、Al2O3、Si3N4等,其具體物理參數(shù)如下表所示。還有在這些陶瓷成分的基礎(chǔ)上做的一些改性,使其既具有優(yōu)良的導(dǎo)熱性能,又有較高的機(jī)械強(qiáng)度,如氧化鋯增韌氧化鋁陶瓷(ZTA)。陶瓷材料的選擇,需要從陶瓷的熱導(dǎo)率、熱膨脹系數(shù)、電絕緣性能、機(jī)械強(qiáng)度、成本等進(jìn)行綜合考慮。


常見陶瓷材料的物理性能

1)Al2O3

Al2O3 陶瓷由于價(jià)格低廉,應(yīng)用最廣泛,但是其熱導(dǎo)率較低、熱膨脹系數(shù)高,芯片工作時(shí)產(chǎn)生的熱量沒法及時(shí)散出,顯著降低了模塊的可靠性,不能滿足更大功率密度 IGBT 模塊的使用要求。

氧化鋁陶瓷片

2)AlN

AlN 陶瓷熱導(dǎo)率高,在室溫下,其理論熱導(dǎo)率可以達(dá)到 319 W/(m·K),撓曲強(qiáng)度高,與 Si、SiC、GaN 的熱膨脹系數(shù)相近,是合適的基板選擇材料之一。

氮化鋁基板

3)Si3N4

商業(yè)常見的 Si3N4 陶瓷的熱導(dǎo)率達(dá)到 90 W/(m·K),相對(duì)于 AlN 的熱導(dǎo)率低,但遠(yuǎn)大于 Al2O3 的熱導(dǎo)率,同時(shí)機(jī)械強(qiáng)度高,斷裂韌性好,高溫可靠性更好。因此 Si3N4 在如今的 IGBT 封裝基板中具有很大的應(yīng)用潛力。

二、IGBT 模塊陶瓷襯板金屬化技術(shù)

IGBT 封裝用基板在模塊中除發(fā)揮機(jī)械固定元器件的作用外,還需要具有一定的載流能力。單純的陶瓷材料并不導(dǎo)電,需要將陶瓷金屬化后,在金屬層刻制電路,才能作為 IGBT 封裝用基板材料。這就帶來了新的問題,由于金屬和陶瓷的熱膨脹系數(shù)相差很大,在每一次冷熱循環(huán)后,會(huì)在界面處產(chǎn)生殘余熱應(yīng)力,長(zhǎng)時(shí)間累積會(huì)導(dǎo)致金屬層剝落,陶瓷開裂,使得 IGBT 模塊失效。

金屬化陶瓷基板的可靠性

市面上的 IGBT 封裝基板采用直接覆銅(Direct Bonding Copper,DBC)、活性金屬釬焊(Active Metal Brazing,AMB)技術(shù)直接敷鋁陶瓷基板(Direct Bonded Aluminum,DBA)技術(shù),將不同的金屬材料與陶瓷材料互連,作為 IGBT 模塊封裝用基板。陶瓷和金屬互連的難題在于熔融金屬難以潤(rùn)濕陶瓷表面,金屬與陶瓷的熱膨脹系數(shù)不匹配,接頭處容易產(chǎn)生較大的殘余應(yīng)力。

1)DBC技術(shù)
DBC 是利用在 1065~1083℃形成的 Cu-O 共晶液能夠潤(rùn)濕大多數(shù)陶瓷如 Al2O3、AlN,從而形成可靠的連接。

DBC陶瓷覆銅板

2)DBA技術(shù)

DBA是基于DBC技術(shù)發(fā)展起來的新型金屬敷接陶瓷基板,是鋁與陶瓷層鍵合而形成的基板,其結(jié)構(gòu)與DBC 相似,也可以像PCB基板一樣蝕刻出各式各樣的圖形。DBA 法常見的有兩類:①熔融液態(tài)鋁敷接法;②金屬過渡法。

DBA覆鋁陶瓷載板

3)AMB技術(shù)

AMB 是一種釬焊互連的方法,利用釬料中含有的 Ti、Zr、Al、Hf、Nb、Cr、Ta、V 等活性元素與陶瓷基板發(fā)生反應(yīng),形成中間連接層,從而將金屬與陶瓷連接起來。AMB 的優(yōu)點(diǎn)是焊接工藝簡(jiǎn)單,結(jié)合強(qiáng)度高;缺點(diǎn)是活性元素容易氧化,釬料成本高,需要在高真空或惰性氣氛下焊接,使得整個(gè)基板的成本提高。

 AMB 陶瓷襯板

AMB 和 DBC、DBA 有著各自的優(yōu)缺點(diǎn),DBC 基板成本低,但是可靠性差,不適合在苛刻環(huán)境下使用的 IGBT 模塊;而 AMB 得到的基板雖然成本提升,但可靠性高,更適合于高溫、高功率密度下使用的 IGBT 模塊,例如在航空航天、軌道交通、新能源汽車等領(lǐng)域中使用。DBA 與 DBC 在很多方面類似,但是相比于 DBC,DBA 具有顯著的抗熱震性能和熱穩(wěn)定性能,且重量輕、熱應(yīng)力小,對(duì)提高在極端溫度下工作器件的穩(wěn)定性十分明顯,因此特別適合用于功率電子電路。

深圳市金瑞欣特種電路技術(shù)有限公司

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通過公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)的不懈努力,現(xiàn)已成功研發(fā)微小孔板、高精密板、難度板、微型化板、圍壩板等,具備DPC、DBC、HTCC、LTCC等多種陶瓷生產(chǎn)技術(shù),以便為更多需求的客戶服務(wù),開拓列廣泛的市場(chǎng)。

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