目前,功率器件和模塊主要采用引線鍵合的互連工藝和平面封裝結(jié)構(gòu)。圖1為普通IGBT模塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
從上圖可以看出,IGBT模塊共由7層結(jié)構(gòu)構(gòu)成,大致可以分成三部分:芯片、DBC和散熱基板。每部分之間由焊錫連接而成。IGBT是在晶閘管的基礎(chǔ)上發(fā)展而來,但與傳統(tǒng)的晶閘管相比,IGBT模塊省去了內(nèi)部的陰極和陽極金屬層,分別由芯片表面引出的焊線及DBC上層銅板代替。除此之外,原先的鎳金屬緩沖層也被去掉了,其代價是單個IGBT芯片的容量減少。為了彌補(bǔ)這一缺陷,需要在DBC板上安置更多的IGBT芯片。
IGBT模塊是由不同的材料層構(gòu)成,如金屬、陶瓷以及高分子聚合物以及填充在模塊內(nèi)部用來改善器件相關(guān)熱性能的硅膠。它們的熱膨脹系數(shù)以及熱導(dǎo)率存在很大的差異,在器件的工作過程中會出現(xiàn)意想不到的問題。
物理上,熱導(dǎo)率代表了物體導(dǎo)熱性能的大小。在IGBT模塊中,涉及到的材料,其熱導(dǎo)率繪成柱形圖如下:
熱膨脹系數(shù)(coefficient of thermal expansion, CTE)是指物體在單位溫度下體積的變化,其國際單位為K-1。對于IGBT這種具有堆疊結(jié)構(gòu)的功率器件,它在正常工作下溫度很高,因此不同的材料也會因熱脹冷縮原理產(chǎn)生不同程度的形變,進(jìn)而影響器件的可靠性。圖3繪出出了模塊內(nèi)幾種材料的熱膨脹系數(shù)。
有機(jī)材料的引入可以使接合線不被腐蝕,還有較高的擊穿場強(qiáng),然而,它在模塊內(nèi)部形成的有機(jī)薄膜會產(chǎn)生較大的寄生電容,進(jìn)而影響器件的部分性能。
除了材料的選擇,事實上,IGBT模塊內(nèi)部每層材料的厚度也有其規(guī)范。傳統(tǒng)的IGBT模塊里,陶瓷的主要成分為Al2O3,基板采用銅材料;在高壓IGBT模塊里,DBC內(nèi)的陶瓷采用AlN,或采用可靠性更高的AMB Si3N4/AlN陶瓷基板;高壓IGBT模塊又有所改進(jìn),使用碳化硅鋁替代原先的銅基板。
表1 不同IGBT模塊各層材料的厚度 : 單位:mm
當(dāng)然,在特定的場合,所需的IGBT模塊內(nèi)部材料厚度也不盡相同。比方說,原先的DBC陶瓷厚度為0.63mm,但為了減少器件的熱阻,后來的設(shè)計尺寸為0.38mm;再有對于一些需要承受更大高壓的IGBT模塊,它內(nèi)部氮化鋁陶瓷的厚度達(dá)到1mm。