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壓力傳感器哪些會用到陶瓷基板
隨著技術(shù)智能化發(fā)展,傳感器的發(fā)展迅速,壓力傳感器作為三大主要傳感器類型之一,其在各行業(yè)都被廣泛應(yīng)用。今天小編要分享是是哪些壓力傳感器產(chǎn)品需要用到陶瓷基板。
壓力傳感器分類:
陶瓷壓力傳感器的基材基本以氧化鋁Al2O3陶瓷為主,根據(jù)實現(xiàn)的原理可以分為電容式壓力傳感器和壓阻式壓力傳感器。
1,陶瓷電容式壓力傳感器
陶瓷電容技術(shù)采用固定式陶瓷基座和可動陶瓷膜片結(jié)構(gòu),可動膜片通過玻璃漿料等方式與基座密封固定在一起。兩者之間內(nèi)側(cè)印刷電極圖形,從而形成一個可變電容,當(dāng)膜片上所承受的介質(zhì)壓力變化時兩者之間的電容量隨之發(fā)生變化,通過調(diào)理芯片將該信號進(jìn)行轉(zhuǎn)換調(diào)理后輸出給后級使用。陶瓷電容技術(shù)具有成本適中,量程范圍寬,溫度特性好、一致性、長期穩(wěn)定性好等優(yōu)勢。國際上來看廣泛應(yīng)用于汽車與工業(yè)過程控制等領(lǐng)域,分別以美國森薩塔和瑞士E+H為代表。由于電容信號不同于電阻信號,對信號處理電路要求較高,傳感器設(shè)計時需要將電容和信號調(diào)理芯片ASIC協(xié)同考慮,國內(nèi)目前僅蘇州納芯微電子股份有限公司能夠同時提供兩者整合的完整解決方案。
常規(guī)的硅阻和陶瓷電阻產(chǎn)品由于其自身結(jié)構(gòu)和材料特點,很難在高溫和腐蝕測試環(huán)境中保證測量精度和長期可靠性,陶瓷電容式壓力傳感器正好克服了兩者的劣勢,可在高溫和腐蝕環(huán)境下保證測量精度和長期可靠性。
2,陶瓷壓阻式壓力傳感器
陶瓷電阻技術(shù)采用厚膜印刷工藝將惠斯通電橋印刷在陶瓷結(jié)構(gòu)的表面,利用壓敏電阻效應(yīng),實現(xiàn)將介質(zhì)的壓力信號轉(zhuǎn)換為電壓信號。陶瓷電阻技術(shù)具有成本適中,工藝簡單等優(yōu)勢,目前國內(nèi)有較多廠家提供陶瓷電阻壓力傳感器芯體。但該技術(shù)信號輸出靈敏度低,量程一般限定在500kPa~10MPa,且常規(guī)中空結(jié)構(gòu),僅靠膜片承壓,抗過載能力差,當(dāng)待測介質(zhì)壓力過載時,陶瓷電阻傳感器會存在膜片破裂,介質(zhì)泄露的風(fēng)險。
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